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“依靠璇璣系统的算法设计分子结构,原来竟然有这么大的作用,直接把传统实验研发周期缩短那么多。”
“看来对於璇璣系统,还有著很大开发空间。”
然他们的话音还未完全落下,便被周启深出声打断。
针对详细的合成过程进行说明。
“不单单是靠璇璣系统,徐总师在化学实验上的水平也非常厉害,合成过程中帮助我们解决了几个问题。”
“否则想得到光刻胶样品,起码还要等段时间。
说完。
现场瞬间陷入一阵沉默。
包括余高远在內,大家几乎同时瞪大眼睛,脸上的表情充满了疑惑和不解。
就凭徐铭创造出来的传奇经歷,哪怕小学里面的孩子都能讲出来,更不要说他们这些院士专家。
谁不知道徐铭主要研究领域,仅限於物理数学以及信息算法几个学科,纵使是多少年不出的天才,同时投入时间和精力也可以说到达极限了。
根本不可能再去研究化学。
因此听到周启深,如此称讚徐铭的化学水平,脑海中不由得浮现一个问號。
心想以徐铭的名气和权威,也没必要採用这样的方式去称讚。
稍微顿了几秒,余高远乾咳一声,摆摆手说道。
“行了老周。”
“徐总师对项目的贡献是大家有目共睹的,这份功劳任何人都无法抹除。”
“至於你嘛也不用这么谦虚。”
周启深听到这番话,心里那叫一个无语,敢情说实话都没有人相信。
为此他只得又专门强调一句。
“我说的都是真的,根据我的判断,徐总师以后的化学成就不见得比数学差。”
讲这话时神情格外认真。
而闻言大家也都回味过来,看周启深的样子,似乎真不是在开玩笑。
但仍旧有些不太敢相信。
成就不比数学差?
要知道证明霍奇猜想,构建全新的理论工具,可以说无论哪一项都站在了数学的最高殿堂。
让不知道让多少数学家望其项背。
如果未来的化学成就也达到类似的程度,那该会是多惊人的程度。
確实无法和现在的徐铭联繫在一起。
相比较在化学领域取得巨大成就,大家更愿意相信未来徐铭再次证明黎曼猜想。
经过短暂的怔神后,贺鹏涛最先反应过来。
將目光转到旁边徐铭身上后,主动开口询问拋出自己的问题。
“老周讲的都是真的?”
“我记得你之前不是说,没研究过化学吗?”
他十分清楚的记得,当初徐铭提出,能在短时间內依靠璇璣系统解决新一代光刻胶时,便向其询问过是否对化学也有研究。
所得到的回答是否定。
怎么才短短几个月过去,就化身成化学专家了。
“这具体怎么回事?”丁顺安同样疑惑。
徐铭原本没打算参与话题,谁曾想聊到自己身上,面对周边大家的目光,他倒也没打算卖关子,未作迟疑便开口进行详细的回答。
“我確实在光刻胶合成的时候,帮了些忙。”
“至於对化学的研究,前两个月刚从化学研究所图书馆借阅了文献资料。”
“刚研究的?”贺鹏涛脱口惊呼。
他无论如何都没有想到,徐铭会给出这种答案。
仅研究了一段时间的化学文献资料,就能攻克新一代极紫外光刻胶。
变態程度根本无法形容。
嘴唇微动几下,最后他还是把话咽了回去,整个人仿佛失去了所有力气。
哪怕旁边的丁顺安等人,也完全一样。
生怕继续聊下去,又会被徐铭的话暴击,影响到今天的欣喜情绪。
最终还是余高远强行岔开话题。
“那个————时间差不多了,赶紧开始验证吧。”
有著上回的经验,这回进行流片验证,光刻过程只会更加顺利。
伴隨逐光极紫外光刻机启动,由璇璣系统生成的测试晶片版图,在涂抹了新一代光刻胶的晶圆片上曝光。
超净间外。
大家通过观察窗,看著晶圆片被送入逐光光刻机。
神情越发的紧张和期待。
哪怕无比相信,最终的结果不会让人失望。
“这次流片的数量,是上回的数倍,所得到的各项数据也会更加精准。”
待眾人离开观察窗后,丁顺安主动向余高远报告。
对今天进行的流片情况进行说明。
闻言余高远只是点了点头,並未发表意见。
毕竟一台新型號的极紫外光刻机,外加新开发的晶片设计软体和光刻胶,必须经过大量的流片验证,才能证明其產品技术的成熟性。
以及良品率数值。
虽然这会拉长验证的周期,却属於產品公开发布前的必备流程。
而就在这个时候,人群中一位戴著眼镜的,中年模样男子出声询问,向丁顺安表明自己的疑惑。
“丁院士。”
“咱们的国產高端晶片製造生產线,真的能达到海外最先进的工艺水准?”
崔景和作为华芯国际董事长,其公司是国內最先进同时规模最大的,半导体晶片集成电路製造企业。
但因为无法购买到,海外先进的光刻机和光刻胶。
高端晶片市场份额在全球范围內落后。
得知国產高端晶片製造產业技术,已经有了重大的突破进展之后,他的心情无疑是非常的激动高兴,无比期待逐光极紫外光刻机的问世。
直到今天受邀参加流片验证,他才真正清楚当前国產技术处在什么阶段。
竟具备了正式推向世界舞台的资格。
这无疑是巨大的衝击。
主要在大多数人的认知中,国內在高端晶片製造领域內想实现国產化,还是有一段长的路要走。
结果他现在看到了什么?
国產逐光极紫外光刻机早已研发成功,新一代光刻胶也和晶片设计软体也配套完善,就仿佛是瞒著外界偷偷在跑道上来了个百米衝刺。
丁顺安闻言,自光当即朝崔景和望去。
嘴角微微上扬掛著笑容。
下秒语气无比坚定的答覆道:“是的,你想的没错。”
“根据初步的计划方案,明年我们的首批国產逐光极紫外光刻机,就会在华芯国际科技园安家落户。”
“光刻工艺可以达到5纳米精度。”
“並且我们有信心,逐光极紫外光刻机,性能会远远超过明年阿斯麦推出的新產品。”
將丁顺安的话一字不落听进耳中,崔景和哪怕见惯了大场面,此刻也不由得呼吸变得有些急促起来,似乎已经看到公司躋身全球市场的那天。
深吸一口气稍微平復后,当即信心十足的保证。
“只要国產逐光极紫外光刻机就位,我们绝对会把失去的高端晶片製造市场份额拿回来。”
丝毫不夸张的讲,现在他都想,先把这台极紫外光刻机搬回公司。
而接下来的时间,他则又把视线,移动到徐铭身上。
重新审视这位年轻人。
带领国產高端晶片製造產业崛起的总设计师。
就这样隨著时间一分一秒流逝,无论微电子装备集团还是化学研究所,亦或者华天科技和华芯国际,大家心里面都在憋著一口心气。
等待详细的流片结果出炉。
但要说在这个过程中最轻鬆的,无疑是徐铭。
他几乎参与了每个环节的技术研发工作,对具体情况可以说非常清楚。
当极紫外光刻胶样品被合成出来的那刻,最终的结果就已经註定。
高端晶片製造產业百分百国產化是必然的事情。
为此趁著这些日子閒下来,他总算在燕大数院举行了几次讲座公开课。
——
每场都是人山人海般的场景。
除院里的研究生报名外,甚至还有讲师教授,都不愿意错过这种难得的机会。
毕竟这实在是太难得。
另外值得一提的是,他还抽空给蒋旭和朱志轩,以及陆明哲等人指导了博士毕业论文,如果顺利的话他们都会在明年五月份正式毕业。
转眼来到月底。
让大家心心念的流片验证结果,终於出来。
上午。
微电子装备报告厅。
贺鹏涛郑重拿起流片报告,面对现场眾人,直接公布最终的结果。
“图形保真度完美,解析度和线边缘粗糙度,优於璇璣系统的预测数值。”
“光刻胶对隨机效应成功抑制。”
“测试晶片中数以万计的环形振盪器,测得平均延迟时间与璇璣系统仿真数值误差小於1%。”
“电晶体的关態电流密度领先国际水平。”
“流片良品率达到99%,优於璇璣系统数字流片预测结果数值。”
当一项项数据从贺鹏涛口中念出,宣布著逐光极紫外光刻机和璇璣系统,以及新一代极紫外光刻胶的成功。
从海外限制高端晶片和先进半导体设备,到今天彻底实现產业国產化。
如此短的时间內实现技术追赶,无疑是一项足以载入史册的行业奇蹟。
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