第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功

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第244章 流片数据出炉，光刻机主体成功

宽敞明亮的机房內，首台逐光极紫外光刻机，被放置在中心位置，是全场毫无疑问的焦点。前方墙上的大屏幕处，最上面掛著个红色横幅。

写有一行標语。

“预祝全系统首次链路功能验证流片圆满成功”

而现场除总设计徐铭，贺鹏涛与丁顺安两位院士，和微电子装备项目科研人员外，还包括华天科技公司，科技部领导以及多位院士专家。今天全部聚集在这里，只为共同见证国家高端晶片製造的崛起。

其中很多人，都是项目某环节参与者。

最终的结果如何，对他们来说，称得上是与有荣焉。

心中都憋著一口气。

但像科学院院长余高远，则完全把自己，放在观眾的席位上，基本全程保持沉默，很少参与发言。

把本次验证的主导权，悉数交给总设计师徐铭。

仅在心中希冀验证圆满成功。

当视线重新回到徐铭身上，他已经伸手接过，贺院递过来的逐光”最新检测数据，隨即垂下目光神情认真的仔细查看。

从海外新思公司，与阿斯麦半导体设备，共同发出公告，宣布將在明年正式推出，全新的极紫外光刻机和配套eda算法工具，到现在已过去三个多月时间。

然论他们如何都不会想到，在这短短三个多月內，首台逐光极紫外光刻机，已完成组装。

將採用全新技术的核心光源系统，和工作件物镜系统等零部件整合。

这几天在差不多二十四小时，不停地调试优化下，基本满足实际流片验证標准。

在如此情况下，由国家晶片製造產业专项领导小组表决，定下今天开展首次全系统链路功能验证流片实验。

“没问题。”徐铭重新把数据文件递还过去说。

贺鹏涛接下笑著说：“大家等这一天可是很久了，眼下终於要变成现实。”他讲完不知是想到了什么，脸上显露出来的情绪，相比刚才多出几分伤感。

早在十年前。

国家发布中长期科学和技术发展规划纲要，把极大规模集成电路製造技术及成套工艺，排在16个国家重大科技专项首位，真正重视起晶片製造技术，並给予持续和巨额的经费支持。

他便被任命为项目主要负责人，扎根光机所研发国產光刻机。

儘管数年来取得一定成果，但距离海外阿斯麦公司，仍面临著巨大技术层面差距。

当时行业主流观点是，未来二十年时间，很有可能都无法实现追赶。

从某种程度上讲，比战斗机更加复杂棘手。

对任何一位光机所人来说，看到国產光刻机崛起，实现自主高端晶片製造，是大家最真挚质朴的梦想。

他贺鹏涛自然也不例外。

而如今因为徐铭，这个尚不到三十岁的青年才俊，国家的极大规模集成製造技术，迎来飞速突破进展。

以往的梦想得以实现，且亲眼目睹。

情绪难免会有所宣泄。

这是人之常情。

“你就放心吧老贺，咱们的逐光肯定能经受检验。”丁顺安闻言，及时接过话茬，成功转移贺鹏涛的注意力。

作为逐光系列光刻机的研发人员，就相当於是把孩子养大的父母。

自家孩子究竟是个什么水准，基本是心知肚明。

流片验证虽尚未开始，但最终结果如何，多少会有一个预期数值。

徐铭依旧保持著冷静的思维，將贺鹏涛和丁顺安两位的交流，悉数听进耳中，虽想说些宽慰的话，给他们吃上一颗定心丸，但嘴唇微动下，还是把话给咽了回去。

逐光极紫外光刻机，和璇璣系统eda算法工具，他自然是胸有成竹信心满满。

但要知道一件事，流片验证的数据，可不单靠这两项左右，其中任何一个环节都能產生影响。

比如较为关键的光刻胶。

原本他的打算，是想通过璇璣系统，反向设计適配的高端光刻胶，儘管这会延长流片验证的日子，却可以保证良品率。

刚好科学院化学研究所，在国產光刻胶的研究上，取得了新突破。

便索性提前进行流片验证。

毕竟站在上面的角度，留给国內的时间確实不多，必须尽最大努力，和阿斯麦同步推出极紫外光刻机，把行业可能会受到的衝击损失，减低至最小范围。

於是念头停留在这里，他方沉声吐出一句话。

“开始工作吧，流片验证的数据如何，很快我们就能知道。”

隨著话音落下，身旁的贺鹏涛和丁顺安，也一改刚才脸上的笑容，神情变得严肃认真。

点点头前往各自的工作区域，指挥科研人员调试。

为流片验证做最后准备。

伴隨时间一分一秒流逝，机房现场的氛围，因逐渐瀰漫的紧张感，变得有些窒息。

连余高远等场外人员，都仿佛要屏住呼吸。

生怕因为自己发出的动静，导致今天的流片验证出现问题。

不知道过去多久，只听站在操作台前的潘耀，突然开口向徐铭进行匯报，总算暂时打破眼下的氛围。

“报告徐总师，设备已调试完毕，隨时可以进行流片。”

说完。

负责优化璇璣系统的苏振豪，同样不再保持沉默，紧跟在潘耀的话后，也停下手上动作，转过身报告工作进度。

“璇璣系统优化完成。”

闻言徐铭猛地从椅子上站起身。

目光先是依次在潘耀和苏振豪身上扫过，然后看向贺鹏涛和丁顺安，在短暂的眼神交流后，下秒便不再过多耽搁时间，立即下达了最重要的指令。

“开始吧。”

“是徐总设计师。”潘耀和苏振豪几乎同时回应。

紧接著所有科研人员，再次投入到紧张的工作状態，神情保持著高度专注。

此次流片验证採用的测试晶片，是一颗不包含复杂功能的专用测试晶片，其版图由璇璣系统软体生成。

包括解析度测试图案，套刻精度標誌，电性测试机构，和特殊监测图形等。

不多时。

在超净间外，徐铭和科研团队，通过观察窗，看著第一片硅片被送入珠光极紫外光刻机，整个气氛庄重而充满期待。

当全系统链路功能验证流片流程开始启动，严格按照璇璣输出的工艺档和珠光的標准参数执行，而这个过程也需要一定的时间，需在晶圆片完成製造后，进行光学量测和电子显微镜检测。