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本来就热闹的除夕饭因为这么个大消息爆出来, 那就更热闹了,一顿饭到后来也就俩孩子还有心思吃了,其他人更关注的何盛华他们厂子的事情。

这个年过得十分快乐, 但很短暂, 才到初二, 何景韩教授他们便又去上班了。

新年开始, 齐老便召集所有人召开了个会议。

“扫描光刻机进展十分缓慢,光源是个很大的问题, 我想问一下,你们有没有什么想法,大胆地说。”首位上,齐老面色凝重地看着在场的那些人。

坐在会议室椅子上的人闻言都沉思了起来, 一副凝神思考的样子,并没有人出来发表自己的看法。

何景也在沉思着,适合步进式扫描光刻机的光源又不少, 但想要做出更好更精密的芯片, 那种光源可不是那么好找的,再说了, 即使确定类型了, 能不能掌握这种光源那也是个问题。

就在沉默中,终于有人开口, “现有光刻机使用的光源有激光、紫外光、深紫外光,最近国外还提出了一种类型的光源, 便是极紫外光。只是这种光源还处于研究之中,并不是我们能掌握的。”

随着他开口,立马又有不少人开口了。

“是啊,所长, 极紫外光波长足够短,按照原理,具有极好的成像效果,且能缩小芯片,但我们并没有办法掌握这个光源。”

“我也查过不少资料了,国外也才开始研究,需要花费很长时间,也不一定会有结果。”

“不然还是还是在深紫外光领域进行深挖吧?”

“估计不行,根据发展定律,这种光源能挖掘的潜力有限。”

“还只能从极紫外光着手了啊!”

“那肯定是啊,就是我们花国光学发展还不行吧!”

“唉,估计很难!”

“我们这也有专业的光学研究员的吧?”

“是啊,不然漫漫开始研究?”

众人十分激烈地讨论了起来,会议室一下子变得十分热闹。

何景没有说话,这些人都说得很对,眼下想要在光刻机方面有突破的话,那就需要掌握极紫外光这种光源,可现在的技术也是个问题,毕竟花国科学发展时间有限,很多方面不能和国外相比。

要知道即使在三十年之后,能掌握这种高端光源的国家也是屈指可数的,更何况是现在呢。

齐老听着他们争吵,目光不由得落在了何景身上。他咳嗽了几下,在场众人立马就安静了下来,所有人都看向了齐老。

齐老则是看着何景,“何教授,你是个什么想法?”

何景并没有惊讶,他这个师伯就是喜欢拉着他出来说话,便开口道:“大家都说得十分对,眼下想要突破的话的确是要研究极紫外光光源,所以极紫外光是必须要研究的。不过我们这边实力有限,所以最好还是寻求其他方面的帮助,q大那边有个光学研究小组,听说他们在研究的就是各种光源,如果可以的话,我们能够寻求他们的帮助。”

何景记得在若干年之后,q大光学研究所也研究出了极紫外光光源,这是很大的突破。

当然那个项目是在很久以后才开始的,所以一直到二十多年之后才成功,如果这一世能早一些开始的话,说不定几年之后便会成功了。光刻机的研究本就需要很长的时间,齐老他们规划的也是十年之内完成这项研究,所以不能太着急。

齐老闻言思考了起来,“你说的那个小组能力怎么样?你觉得他们大概需要多久能有突破?”

何景笑了下,无奈摇头,“这我就不知道了,毕竟我和那边也没有多少了解,只是大概知道有这个研究小组,我们可以先接触接触,或者在全球范围内找一找,大规模地寻求合作。或者直接召集光学方面的专家,过来这边研究。”

两种方式各有优劣,弄到研究所这边来的话,他们就比较有主导权,也能更方便进行实验,但自己管理的话,需要操心的东西就会多不少,还有便是会麻烦些。而且要召集那么些人过来,还需要研究那么长时间,也不一定那些人会愿意。

齐老点点头,并没有立马发表自己的看法,反而是看向了其他人。

“你们怎么看?”

“合作吧,专业的活还是要找专业的人干。”

“是啊,可以多放联系一下,如果有人正好在研究这个的话,那就好了。”

“嗯,还是要好好挑选下合作对象,毕竟实力还是十分重要的。”

“.....”

大部分人都倾向于合作,这样他们也能轻松不少。

齐老想了下,最终还是拍板合作这个方式了,“行,那就寻求外部合作吧,卢副,你尽快调查下合适的光学研究单位,看看那个单位对这个项目感兴趣。”

卢副所长立马点头答应,“好,我会尽快去办的。”

齐老满意点头,之后又看向其他人,“行吧,那我们继续说下面的问题。”

“何景,这次曝光的方式是怎么进行的?”

这个就是何景知道的了,赶忙道:“我们的单场曝光会采用动态扫描的方式,掩模板对着晶元同步进行扫描。”

“投影倍镜的倍率最好蛇追在4:1......”

“掩模台需要保持高速、高精确地同步运动.....”

何景解说非常详细,这是他比较了解的部分,所有人都专心地听着。

齐老面上露出十分满意的笑容,等何景说完他立马带头鼓起了掌,“不错,你这些日子没有白忙啊,你们尽快将东西制作出现,之后进行具体实验。虽然光源是个问题,但我们也能用其他光源做实验不是,不能白耽误时间了。”

“明白。”众人纷纷点头答应。

齐老又看向其他人,开始问起其他的问题。

一场会议足足持续了一天,几乎到晚上九十年才结束,光刻机是个很大的项目,涉及到的问他十分多,所以花费的时间也多。没办法,这也是很正常的,毕竟一切才刚开始,所有人面临的问题都很多。

结束完会议,何景活动下筋骨,让身体放松下,跟在齐老后面往他后面走,不是何景还不想回去休息,只是齐老一结束会议就让何景去他办公室。

也挺累了,齐老也没有客气给何景倒水什么的,招呼人坐下之后便开始说起了话。

“齐老,怎么了?这么严肃?”看见他严肃的样子,何景有些好笑的问。

齐老面容严肃,“有件很重要的事情,m国有个十分大型的半导体研讨会,我们花国这边也收到了邀请,我便是受邀人员之一。”

“研讨会?谁组织的?”一听说有研讨会,何景就十分好奇了。

齐老叹了口气,“名义上是有什么半导体研究委员会组织的,但其实便是几个大集团公司组织的。”

何景有些奇怪,“他们这次怎么想着邀请我们花国的人了?之前不是很看不起我们吗?”

现在才是九十年代,那些国家其实是很看不起花国的科研能力的,几乎就没有想过邀请花国的人去参加什么技术交流会,几乎都是花国主动想去参观学习,这次也太奇怪了。

齐老摇头,“这个我也有些摸不着头脑,不过我们研究出步进式重复光刻机的消息应该已经传出来了,估计是有人想看看我们的实力吧!”

步进式重复光刻机的研究成功那可是十分值得称道的,毕竟现在国际趋势就是这个,步进式扫描光刻机那都是处于研究之中,那些大国估计是没有想到花国居然能追上来,这次邀请也不知道究竟是个什么想法。

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